Überraschend verformbares Silizium

Anwendungen in Handys

Die Resultate der ETH-​​Forschenden könnten sich direkt auf die Herstellung von Silizium-​​Mikrosystemen auswirken, meint Wheeler: «In Handys eingesetzte Gyroskope, die Drehungen des Gerätes nachweisen, könnten so noch kleiner und robuster werden.» Das sollte nicht allzu schwierig zu realisieren sein, da die Industrie bereits jetzt die von Wheeler und Kollegen untersuchte kombinierte Ätz-​​ und Reinigungsmethode verwendet.
Siliziumsäulen verschiedener Grösse unter dem Elektronenmikroskop, von knapp 10 Mikrometern (links, der weisse Balken entspricht 3 Mikrometern) bis hinunter zu 150 Nanometern
Quelle: aus Chen M. et al, Nat.Comm, 2020
Diese sollte auch für andere Materialien mit ähnlicher Kristallstruktur wie der von Silizium anwendbar sein, vermuten die Forscher. Zudem könnte man mit elastischerem Silizium auch dessen elektrische Eigenschaften für bestimmte Anwendungen weiter verbessern. Durch eine starke Verspannung des Halbleiters kann nämlich die Beweglichkeit seiner Elektronen erhöht werden, wodurch sich beispielsweise kürzere Schaltzeiten erreichen lassen. Während dazu bislang Nanodrähte hergestellt werden mussten, könnte man dies nun direkt mit im Halbleiterchip integrierten Strukturen schaffen.
Dieser Artikel wurde zunächst auf ETH-News publiziert.

Autor(in) Oliver Morsch, ETH News



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